一、準(zhǔn)備工作：找到合適的位置放好儀器主機(jī)，打開真空泵包裝，灌裝好真空油，改裝真空泵電源線(更換隨機(jī)的電源接頭)，連接好馗鼎等離子清洗設(shè)備與真空泵之間的真空管路,緊固好O型卡和鎖緊帽,做到連接處密封且不漏氣。

二、接通供電電源和真空泵電源,在此之前檢查所有按鈕需處于復(fù)位狀態(tài),同時(shí)檢查所供電源插座的L、N、E的接線是否與機(jī)箱后的AC220V輸入插頭相一致，以免發(fā)生危險(xiǎn)動(dòng)作。

三、首次開機(jī)前，先取出托載盤，旋好倉門，此時(shí)會(huì)聽到倉門限位開關(guān)發(fā)出動(dòng)作聲音，此聲音表明允許后續(xù)的處理操作能正常進(jìn)行。

四、按下Power開關(guān)，開關(guān)上指示燈亮，按下真空泵Standby按鈕，啟動(dòng)真空泵，緊接按下Pump按鈕，進(jìn)入抽真空狀態(tài)。

五、開機(jī)抽真空時(shí)間應(yīng)持續(xù)15分鐘以上且不做其他操作，目的是去潮除濕，同時(shí)檢查是否有漏氣部位。