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產(chǎn)品特色
.高密度等離子源,等離子效率高,減少制程時間
.特殊之氣體進氣、擴散及抽氣系統(tǒng)設計
.處理之均勻性佳
.等離子均勻性佳
.可使用多種制程氣體
.全自動且容易操作
.設備穩(wěn)定高,容易維護
.可根據(jù)客戶需求設計專用特殊規(guī)格之機臺
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