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PECVD系統(tǒng)

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上海抗靜電消散-類鉆碳膜(ESD-DLC)

產(chǎn)品功能

隨著晶片尺寸越做越小,封裝、封測甚至晶圓制造端所使用的元件,包含治具(Hot Plate、Change kit、Contack chuck…)、軌道、載盤、震動盤、模具等等皆需要有抗靜電的功能特性,以保護(hù)產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中,因靜電導(dǎo)致破壞等問題。而馗鼎透過研究與業(yè)界實(shí)測,透過多元復(fù)合技術(shù),搭配PVD/PECVD等特殊多層堆疊技術(shù),可成功實(shí)現(xiàn)表面達(dá)抗靜電消散能力的薄膜,馗鼎公司此技術(shù)已量產(chǎn)五年以上,穩(wěn)定性與可靠度已受客戶多年認(rèn)證。


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詳情介紹

產(chǎn)品特色

.抗靜電阻值:10^5~10^8Ω。

.高硬度:鉛筆硬度>9H(HV1800~2200)。

.摩擦系數(shù)小、耐磨耗,回饋壽命可達(dá)5倍以上水準(zhǔn)(封測治具)。

.抗腐蝕能力佳。

.低溫(-50℃)/高溫(200℃)/時(shí)鍍層不會剝離,阻值仍保持穩(wěn)定。

.鍍層平滑不沾黏。


可應(yīng)用范圍

? 素材為導(dǎo)電材

1.不銹鋼

2.粉末冶金高速鋼(ASP23)

3.模具鋼SKD61

4.FDAC (+電鍍Cr)

5.鎢鋼

6.藍(lán)鋼(+電鍍Cr)

7.鋁合金


? 素材為非導(dǎo)體材

1.鋁合金(6系列)+硬質(zhì)陽極后

2.陶瓷(限平面)

3.工程塑膠(PEEK,限平面)

4.玻纖(限平面)



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