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詳情介紹

產品特色

.感應耦合高密度等離子系統(tǒng)(ICP System)

.等離子輔助化學氣相沉積系統(tǒng)(PECVD)

.濺鍍系統(tǒng)(Sputtering System)

.離子披覆系統(tǒng)(Ion-Plating System)

.電弧離子鍍膜系統(tǒng)(Arc Ion-Plating System)

.化學氣相沉積系統(tǒng)(CVD)

.熱蒸鍍系統(tǒng)(Thermal Evaporation)

.電子槍蒸鍍系統(tǒng)(E-gun Evaporation )


可應用范圍

等離子處理系統(tǒng)如表面處理及表面改質

應用在各式鍍膜如光學多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜(DLC、TiN、TiC等)


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