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產(chǎn)品特色
．高密度等離子源
．處理速度快、產(chǎn)能高、可靠度高
．可選擇的操作參數(shù)多
．設(shè)備穩(wěn)定度高，容易維護(hù)
．全自動(dòng)且容易操作
．可依客戶需求作更改
可應(yīng)用范圍
．太陽(yáng)能電池
．太陽(yáng)能矽晶片邊緣做蝕刻
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