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等離子光譜分析儀

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東莞等離子光譜分析儀 (OES)

產(chǎn)品功能

等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器,能夠進(jìn)行等離子的監(jiān)控及分析制程中等離子元素特性,幫助提升制程的監(jiān)控性并提供制程后續(xù)分析能力。


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詳情介紹

產(chǎn)品特色

.真空內(nèi)置式偵測(cè)頭

.防鍍膜組

.能觀測(cè)特定波長(zhǎng)

.能控制流量計(jì)

.能擴(kuò)充至4組流量計(jì)控制

.等離子光譜成分后續(xù)分析功能

.客制化


可應(yīng)用范圍

.LED 產(chǎn)業(yè)

.太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)

.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

.光電產(chǎn)業(yè)

.等離子鍍膜產(chǎn)業(yè)

.等離子處理系統(tǒng)

.光學(xué)產(chǎn)業(yè)

.學(xué)術(shù)研究


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