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產(chǎn)品功能
等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器,能夠進(jìn)行等離子的監(jiān)控及分析制程中等離子元素特性,幫助提升制程的監(jiān)控性并提供制程后續(xù)分析能力。
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產(chǎn)品特色
.真空內(nèi)置式偵測(cè)頭
.防鍍膜組
.能觀測(cè)特定波長(zhǎng)
.能控制流量計(jì)
.能擴(kuò)充至4組流量計(jì)控制
.等離子光譜成分后續(xù)分析功能
.客制化
可應(yīng)用范圍
.LED 產(chǎn)業(yè)
.太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)
.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
.光電產(chǎn)業(yè)
.等離子鍍膜產(chǎn)業(yè)
.等離子處理系統(tǒng)
.光學(xué)產(chǎn)業(yè)
.學(xué)術(shù)研究
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