聯(lián)系人: 胥經(jīng)理
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產(chǎn)品功能
等離子光譜分析儀為非侵入式的等離子分析儀器,能夠進行等離子的監(jiān)控及分析制程中等離子元素特性,幫助提升制程的監(jiān)控性并提供制程后續(xù)分析能力。
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產(chǎn)品特色
.真空內(nèi)置式偵測頭
.防鍍膜組
.能觀測特定波長
.能控制流量計
.能擴充至4組流量計控制
.等離子光譜成分后續(xù)分析功能
.客制化
可應用范圍
.LED 產(chǎn)業(yè)
.太陽能產(chǎn)業(yè)
.半導體產(chǎn)業(yè)
.光電產(chǎn)業(yè)
.等離子鍍膜產(chǎn)業(yè)
.等離子處理系統(tǒng)
.光學產(chǎn)業(yè)
.學術(shù)研究
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