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產(chǎn)品功能
．符合等離子特性的電氣規(guī)格
．具備定功率，定電壓，定電流
．內(nèi)建電弧保護(hù)功能
．內(nèi)建過電壓，過電流，過熱，過載等保護(hù)功能
．可用于單雙火線的等離子系統(tǒng)
． PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (擇一)
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產(chǎn)品特色
．?dāng)?shù)位控制系統(tǒng)
．設(shè)定范圍廣
．高等離子密度
．可客制化洽詢
可應(yīng)用范圍
．真空鍍膜制程之清洗處理
．等離子輔助化學(xué)沉積制程
．等離子輔助濺鍍制程
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