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直流電源供應器

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上海直流等離子電源系統(tǒng) DCPS系列

產品功能

.符合等離子特性的電氣規(guī)格

.具備定功率,定電壓,定電流

.內建電弧保護功能

.內建過電壓,過電流,過熱,過載等保護功能

.可用于單雙火線的等離子系統(tǒng)

. PLC 使用者介面相容于AE-Pinnacle 或ADL-GSW (擇一)


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詳情介紹

產品特色

.數(shù)位控制系統(tǒng)

.設定范圍廣

.高等離子密度

.可客制化洽詢


可應用范圍

.真空鍍膜制程之清洗處理

.等離子輔助化學沉積制程

.等離子輔助濺鍍制程


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