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產(chǎn)品特色

．感應(yīng)耦合高密度等離子系統(tǒng)（ICP System）

．等離子輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（PECVD）

．濺鍍系統(tǒng)（Sputtering System）

．離子披覆系統(tǒng)（Ion-Plating System）

．電弧離子鍍膜系統(tǒng)（Arc Ion-Plating System）

．化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD）

．熱蒸鍍系統(tǒng)（Thermal Evaporation）

．電子槍蒸鍍系統(tǒng)（E-gun Evaporation ）

可應(yīng)用范圍

等離子處理系統(tǒng)如表面處理及表面改質(zhì)

應(yīng)用在各式鍍膜如光學(xué)多層薄膜、超硬耐磨耗薄膜（DLC、TiN、TiC等）