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無(wú)錫等離子輔助化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
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產(chǎn)品特色

.大面積均勻性

.高鍍膜速率

.低溫真空鍍膜

.可通入多組氣體

.易操作及易維護(hù)

.可以客戶做修改

.可搭配制等離子光譜分析儀做制程等離子監(jiān)控及控制


可應(yīng)用范圍

.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

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.鍍膜制程

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