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徐州等離子輔助化學氣相沉積系統(tǒng)

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產(chǎn)品特色

．大面積均勻性

．高鍍膜速率

．低溫真空鍍膜

．可通入多組氣體

．易操作及易維護

．可以客戶做修改

．可搭配制等離子光譜分析儀做制程等離子監(jiān)控及控制

可應用范圍

．半導體產(chǎn)業(yè)

．太陽能產(chǎn)業(yè)

．LED產(chǎn)業(yè)

．光電產(chǎn)業(yè)

．鍍膜制程

．學術研究

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