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產(chǎn)品特色

．ta-C涂層專用機

．過濾式彎弧設備

．占地：W3590*D3100*H3400 mm

．腔體尺寸：525*482*H617 mm

．有效鍍膜空間：D360*H100 mm

．6 軸(D125mm)公自轉轉座

．膜厚：0.1~1μm

．制程時間：2.5~3h

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