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產(chǎn)品特色
.ta-C涂層專用機(jī)
.過濾式彎弧設(shè)備
.占地:W3590*D3100*H3400 mm
.腔體尺寸:525*482*H617 mm
.有效鍍膜空間:D360*H100 mm
.6 軸(D125mm)公自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)座
.膜厚:0.1~1μm
.制程時(shí)間:2.5~3h
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