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產品特色
.高沉積速度,好的鍍膜均勻度
.可安裝濺鍍槍3支
.可通入多組氣體
.可增加偏壓
.容易操作和維護
.全自動及機臺穩(wěn)定性高
.可依照客戶需求
.可搭配等離子光譜分析儀做等離子強度分析及控制
可應用范圍
.LED產業(yè)
.太陽能產業(yè)
.半導體產業(yè)
.學術研究
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