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產(chǎn)品特色
．高沉積速度，好的鍍膜均勻度
．可安裝濺鍍槍3支
．可通入多組氣體
．可增加偏壓
．容易操作和維護(hù)
．全自動(dòng)及機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性高
．可依照客戶需求
．可搭配等離子光譜分析儀做等離子強(qiáng)度分析及控制
可應(yīng)用范圍
．LED產(chǎn)業(yè)
．太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)
．半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)
．學(xué)術(shù)研究
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