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產(chǎn)品特色

．高沉積速度，好的鍍膜均勻度

．可安裝濺鍍槍3支

．可通入多組氣體

．可增加偏壓

．容易操作和維護(hù)

．全自動(dòng)及機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性高

．可依照客戶需求

．可搭配等離子光譜分析儀做等離子強(qiáng)度分析及控制

可應(yīng)用范圍

．LED產(chǎn)業(yè)

．太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)

．半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)

．學(xué)術(shù)研究

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