聯(lián)系人: 胥經理
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產品特色
.處理均勻性佳
.離子能量低、不損傷基板
.沒有電極及基板的污染
.高密度等離子源
*等離子效率高、清潔效率高
*可控制低的離子能量
*結合化學反應性及物理撞擊性
.處理速度快、清潔效率高、可靠度高
.操作范圍廣
.可使用多種制程氣體
.全自動且容易操作
.設備穩(wěn)定高,容易維護
.可依客戶需求作更改
可應用范圍
.殘余光阻去除
.PSS 來料清潔制程
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