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產(chǎn)品功能
．多探針真空量測： 可選配2至4組可微調(diào)探針座，電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺直徑可至2英寸，腔體真空度可選擇一般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探針X-Y-Z三方向微調(diào)，行程：6.5 mm，定位精度：10 μm。并搭配CCD進行下針及微調(diào)。
．In situ等離子處理裝置： 特殊探針收回機構(gòu)設(shè)計，多次量測之間可進行等離子處理程序，針對樣品進行表面等離子改質(zhì)/清潔，不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產(chǎn)生影響?？蛇x配RF/DC/MF generator。
．光感測： 腔體上方透明視窗采用石英玻璃，可搭配光學(xué)系統(tǒng)進行光感測元件之量測。
．特定氣體感測： 特定氣體可透過質(zhì)流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計進行流量控制。
．濕氣感測、有機蒸氣感測： 可選配特殊液態(tài)蒸氣導(dǎo)入裝置設(shè)計，可控制導(dǎo)入腔體之蒸氣流量，進而換算液態(tài)蒸氣之感測濃度。
．低溫量測（300K~20K）： 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng)，可達20K之低溫環(huán)境，并透過PID系統(tǒng)進行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K。
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產(chǎn)品特色
提供真空量測系統(tǒng)相關(guān)進階功能之解決方案，整合常見之真空量測所需功能：真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機蒸氣感測、光感測（需額外搭配光學(xué)系統(tǒng)如雷射、光譜儀等）、高低溫變溫量測、真空等離子處理。內(nèi)部各項配件均可客制化設(shè)計。
可應(yīng)用范圍
固態(tài)半導(dǎo)體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測（photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.）、四點探針量測（4 points measurement）。
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