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產品功能
.多探針真空量測: 可選配2至4組可微調探針座,電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺直徑可至2英寸,腔體真空度可選擇一般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)。探針X-Y-Z三方向微調,行程:6.5 mm,定位精度:10 μm。并搭配CCD進行下針及微調。
.In situ等離子處理裝置: 特殊探針收回機構設計,多次量測之間可進行等離子處理程序,針對樣品進行表面等離子改質/清潔,不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產生影響。可選配RF/DC/MF generator。
.光感測: 腔體上方透明視窗采用石英玻璃,可搭配光學系統(tǒng)進行光感測元件之量測。
.特定氣體感測: 特定氣體可透過質流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量計進行流量控制。
.濕氣感測、有機蒸氣感測: 可選配特殊液態(tài)蒸氣導入裝置設計,可控制導入腔體之蒸氣流量,進而換算液態(tài)蒸氣之感測濃度。
.低溫量測(300K~20K): 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng),可達20K之低溫環(huán)境,并透過PID系統(tǒng)進行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達500K、低溫選配需求可達10K。
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產品特色
提供真空量測系統(tǒng)相關進階功能之解決方案,整合常見之真空量測所需功能:真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機蒸氣感測、光感測(需額外搭配光學系統(tǒng)如雷射、光譜儀等)、高低溫變溫量測、真空等離子處理。內部各項配件均可客制化設計。
可應用范圍
固態(tài)半導體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測(photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.)、四點探針量測(4 points measurement)。
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