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產(chǎn)品功能
.多探針真空量測: 可選配2至4組可微調(diào)探針座,電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺直徑可至2英寸,腔體真空度可選擇一般真空度(5×10-3 Torr)以及高真空(1×10-6 Torr)。探針X-Y-Z三方向微調(diào),行程:6.5 mm,定位精度:10 μm。并搭配CCD進(jìn)行下針及微調(diào)。
.In situ等離子處理裝置: 特殊探針收回機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì),多次量測之間可進(jìn)行等離子處理程序,針對樣品進(jìn)行表面等離子改質(zhì)/清潔,不須破真空使得量測樣品接觸大氣而產(chǎn)生影響??蛇x配RF/DC/MF generator。
.光感測: 腔體上方透明視窗采用石英玻璃,可搭配光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行光感測元件之量測。
.特定氣體感測: 特定氣體可透過質(zhì)流控制器(Mass flow controller, MFC)或浮子流量計(jì)進(jìn)行流量控制。
.濕氣感測、有機(jī)蒸氣感測: 可選配特殊液態(tài)蒸氣導(dǎo)入裝置設(shè)計(jì),可控制導(dǎo)入腔體之蒸氣流量,進(jìn)而換算液態(tài)蒸氣之感測濃度。
.低溫量測(300K~20K): 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng),可達(dá)20K之低溫環(huán)境,并透過PID系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達(dá)500K、低溫選配需求可達(dá)10K。
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產(chǎn)品特色
提供真空量測系統(tǒng)相關(guān)進(jìn)階功能之解決方案,整合常見之真空量測所需功能:真空量測、特定氣氛感測、濕度感測、有機(jī)蒸氣感測、光感測(需額外搭配光學(xué)系統(tǒng)如雷射、光譜儀等)、高低溫變溫量測、真空等離子處理。內(nèi)部各項(xiàng)配件均可客制化設(shè)計(jì)。
可應(yīng)用范圍
固態(tài)半導(dǎo)體電子元件、次微米/奈米元件之電性量測、微電子元件量測(photo-detector/sensor, gas sensor, light-emission/laser diode, solar cell, field-emission device, field-effect transistor, resistive random-access memory etc.)、四點(diǎn)探針量測(4 points measurement)。
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