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產(chǎn)品功能

．多探針真空量測(cè)： 可選配2至4組可微調(diào)探針座，電纜接頭可選擇BNC或triaxial等形式。樣品載臺(tái)直徑可至2英寸，腔體真空度可選擇一般真空度（5×10-3 Torr）以及高真空（1×10-6 Torr）。探針X-Y-Z三方向微調(diào)，行程：6.5 mm，定位精度：10 μm。并搭配CCD進(jìn)行下針及微調(diào)。

．In situ等離子處理裝置： 特殊探針收回機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，多次量測(cè)之間可進(jìn)行等離子處理程序，針對(duì)樣品進(jìn)行表面等離子改質(zhì)/清潔，不須破真空使得量測(cè)樣品接觸大氣而產(chǎn)生影響?？蛇x配RF/DC/MF generator。

．光感測(cè)： 腔體上方透明視窗采用石英玻璃，可搭配光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行光感測(cè)元件之量測(cè)。

．特定氣體感測(cè)： 特定氣體可透過質(zhì)流控制器（Mass flow controller, MFC）或浮子流量計(jì)進(jìn)行流量控制。

．濕氣感測(cè)、有機(jī)蒸氣感測(cè)： 可選配特殊液態(tài)蒸氣導(dǎo)入裝置設(shè)計(jì)，可控制導(dǎo)入腔體之蒸氣流量，進(jìn)而換算液態(tài)蒸氣之感測(cè)濃度。

．低溫量測(cè)（300K~20K）： 選配閉循環(huán)低溫制冷系統(tǒng)，可達(dá)20K之低溫環(huán)境，并透過PID系統(tǒng)進(jìn)行連續(xù)式控溫。高溫選配需求可達(dá)500K、低溫選配需求可達(dá)10K。

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